Resumen

En este artículo se presenta un algoritmo de diagnóstico de fallas FNN modificado para el subsistema de microondas de la Depósito Químico de Vapor de Plasma (PCVD). Las variables de síntomas se seleccionan como entradas claras, y las funciones de membresía correspondientes se obtienen a partir de datos premedidos, así como de la experiencia/conocimiento diagnóstico de expertos. La probabilidad previa y los coeficientes de restricción se combinan en el algoritmo FNN a través del operador de matriz. Este algoritmo FNN modificado se verifica para la aplicación de diagnóstico de fallas de PCVD y realiza el MIMO para el diagnóstico de modo de múltiples fallas.

• Materias:Algoritmo de control Algoritmo de diagnóstico Coeficientes de proximidad Dispositivos submicrónicos Teorema de puntos
• Subjects:Control algorithm Diagnostic algorithm Proximity coefficients Submicron devices Point theorem
• Palabras claves:Algoritmo de diagnóstico de fallas; Subsistema de microondas; Depósito Químico de Vapor de Plasma; Variables de síntomas; Funciones de pertenencia; MIMO
• Keywords:Fault diagnosis algorithm; Microwave subsystem; Plasma Chemical Vapor Deposition; Symptom variables; Membership functions; MIMO