Resumen

El trimetilsilanol (TMSOH) puede causar daños en las superficies de las lentes de los escáneres en la industria de los semiconductores, y existe una necesidad crítica de medir y controlar las concentraciones de TMSOH en el aire. Este estudio desarrolla un método de desorción térmica (TD) - cromatografía de gases (GC) - espectrometría de masas (MS) para medir el TMSOH a nivel de trazas en el aire interior ocupacional. La optimización del método en el laboratorio obtuvo el mejor rendimiento cuando se utilizó una configuración de tubo de doble lecho (100 mg de Tenax TA seguidos de 100 mg de Carboxen 569), n-decano como disolvente y una temperatura de TD de 300°C. El método optimizado demostró una alta recuperación (87%), una precisión satisfactoria (

• Materias:Análisis cromatográfico Análisis electroquímico Electroquímica Química farmacéutica Método espectrofotométrico
• Subjects:Chromatographic analysis Electrochemical analysis Electrochemistry Chemistry pharmaceutical Spectrophotometric method
• Palabras claves:aire interior ocupacional, configuración del tubo de la cama, concentración de tmsoh en el aire, optimización de métodos de laboratorio, superficie del escáner, mejor rendimiento, nivel de tmsoh, temperatura de td, alta recuperación, lente del escáner
• Keywords:occupational indoor air, bed tube configuration, airborne tmsoh concentration, laboratory methods optimization, surface of scanner, best performance, level tmsoh, td temperature, high recovery, scanner lens