Resumen

Los errores dinámicos del sistema de palpado basado en un palpador afectan seriamente a la precisión de la medición en la detección de la calidad superficial en microestructuras. Se propone un método centrado en la medición de la forma superficial de microengranajes, microagujeros en la boquilla del inyector, etc., para controlar los errores dinámicos del sistema de palpado. En primer lugar, se construyeron dos modelos cinemáticos para investigar sistemáticamente el rendimiento dinámico del sistema de palpado basado en palpadores, y se describió la relación entre la fuerza de medición, la velocidad de exploración, la fidelidad y los errores dinámicos. A continuación, se realizaron simulaciones numéricas de la medición de la forma superficial, en las que se tomó como superficie objetivo una microestructura en forma de seno. Los resultados de las simulaciones numéricas revelan que los errores dinámicos se vieron afectados por la velocidad de escaneado y la posición inicial de la muestra medida. Por último, se propuso un método para controlar los errores dinámicos mediante la configuración adecuada de la velocidad de exploración y la posición inicial de la muestra para la medición de la forma superficial de microestructuras.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanofibras
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanofibers
• Palabras claves:errores dinámicos, medición de la forma superficial, palpador, sistema, posición inicial, simulaciones numéricas, detección de la calidad superficial, método, microestructuras, espécimen
• Keywords:dynamic errors, surface form measurement, stylus, system, initial position, numerical simulations, surface quality detection, method, microstructures, specimen