Resumen

Se sintetizó nanopolvo de LaMnO3 (LMO) por el método de combustión por microondas utilizando glicina y sales de nitrato de La y Mn como precursores. El polvo de LMO así preparado se prensó a alta presión y se recoció a 1000°C durante 8 horas para obtener un blanco para la deposición de película fina. El análisis estructural y elemental se obtuvo mediante difracción de rayos X (DRX) y espectroscopia de dispersión de energía de rayos X (EDS). Se fabricaron películas finas de OVM mediante deposición electrónica pulsada (PED) a temperatura ambiente. Se estudiaron los efectos del voltaje de descarga y la relación de flujo oxígeno/argón en las películas delgadas producidas. El estudio muestra que la estequiometría y la estructura del blanco se conservaron bien en las películas delgadas preparadas con un voltaje de descarga de 14 a 15 kV, mientras que la relación de flujo oxígeno/nitrógeno no mostró un efecto claro sobre la calidad de las películas delgadas.

• Materias:Reacciones químicas Electroquímica Biología molecular Química analítica Química de los alimentos
• Subjects:Chemical reactions Electrochemistry Molecular biology Analytical chemistry Food chemistry
• Palabras claves:películas finas, voltaje de descarga, relación de flujo de argón, método de combustión por microondas, relación de flujo de nitrógeno, deposición de electrones pulsados, deposición de películas finas, lmo, oxígeno, blanco
• Keywords:thin films, discharge voltage, argon flux ratio, microwave combustion method, nitrogen flux ratio, pulsed electron deposition, thin film deposition, lmo, oxygen, target