Resumen

Se investigó la evolución de películas de carbono amorfo hidrogenado con microestructura similar a la de los fullerenos con una proporción diferente de suministro de hidrógeno en la deposición. Los resultados mostraron que, con un caudal de hidrógeno de 50 sccm, las películas depositadas presentaban una menor tensión de compresión (menor 48,6%), una mayor recuperación elástica (mayor 19,6%, tasa de recuperación casi elástica del 90%) y una mayor dureza (mayor 7,4%) en comparación con las películas depositadas sin introducción de hidrógeno. El análisis estructural mostró que las películas con un contenido relativamente alto de sp2 y bajo contenido de hidrógeno enlazado poseían una dureza y un índice de recuperación elástica elevados, así como una tensión de compresión baja. Esto se atribuyó a la microestructura curvada del grafito, que puede formar una red tridimensional de enlace covalente.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:tasa de recuperación elástica, películas, películas de carbono amorfo, microestructura de grafito curvado, alto contenido en sp2, mayor recuperación elástica, tasa de flujo de hidrógeno, baja tensión de compresión, menor tensión de compresión, análisis estructural
• Keywords:elastic recovery rate, films, amorphous carbon films, curved graphite microstructure, high sp2 content, higher elastic recovery, hydrogen flow rate, low compressive stress, lower compressive stress, structural analysis