Resumen

El sensor de presión resonante micro produce señales de frecuencia donde no se produce distorsión en la transmisión a larga distancia. A medida que las dimensiones del sensor disminuyen, los efectos de las fuerzas de van der Waals deben ser considerados. Aquí se propone un modelo dinámico acoplado del sensor de presión resonante micro y se presenta su ecuación dinámica acoplada en la que se considera la fuerza de van der Waals. A través de la ecuación, se investigan los efectos de la fuerza de van der Waals en las frecuencias naturales y amplitudes de vibración del sensor de presión resonante micro. Los resultados muestran que la frecuencia natural y las amplitudes de vibración del sensor de presión resonante micro se ven afectadas significativamente por la fuerza de van der Waals para un pequeño espacio entre la película y la placa base, una pequeña tensión inicial de la película y algunas otras condiciones.

• Materias:Degradación acelerada Fatiga estructural Proceso de compresión Metodología de detección Movimiento caótico
• Subjects:Accelerated degradation Structural fatigue Compression process Detection methodology Chaotic motion
• Palabras claves:Sensor de presión resonante micro; Fuerzas de van der Waals; Señales de frecuencia; Modelo dinámico; Frecuencias naturales; Amplitudes de vibración
• Keywords:Micro resonant pressure sensor; Van der Waals forces; Frequency signals; Dynamic model; Natural frequencies; Vibration amplitudes