Las películas de ZnO constituidas por estructuras porosas en forma de lámina, formadas por calcinación del precursor, se examinaron mediante microscopía electrónica de barrido y dispersión y difracción simultáneas de ángulo pequeño de los rayos X generados por sincrotrón, en condiciones de incidencia rasante. El análisis presentado permitió comprender la complejidad de la morfología de la película, que reveló la sensibilidad del sustrato en las escalas de longitud microscópica y nanoscópica. Se determinaron el tamaño medio y la disposición espacial de las nanopartículas, los dominios monocristalinos y el tamaño medio y las características de los nanoporos en estructuras similares a láminas para películas depositadas sobre vidrio, capa policristalina de ZnO y silicio.
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