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El siguiente video es un seminario, el cual se centra en las tecnologías de envasado al vacío para una variedad de dispositivos MEMS. Estos incluyen metal tradicional y paquetes de cerámica, así como numerosas técnicas de unión de la oblea-a oblea. Se discuten MEMS de procesamiento de métodos incluyendo la preparación de la oblea, el grabado, y la incorporación getter, así como una serie de aplicaciones de MEMS que requieren el envasado al vacío.
Esta es una versión de prueba de citación de documentos de la Biblioteca Virtual Pro. Puede contener errores. Lo invitamos a consultar los manuales de citación de las respectivas fuentes.
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