En este artículo se presenta el recubrimiento de microsondas en voladizo de 5 mm de longitud con un material viscoelástico, con el que se pretende ampliar el rango de la velocidad de desplazamiento durante las mediciones de la topografía tridimensional de la superficie amortiguando las oscilaciones inducidas por el contacto. Además, se investigó la amplitud y la fase del modo de oscilación fundamental fuera del plano del voladizo en función del grosor de la capa amortiguadora. Los autores concluyen que la frecuencia de resonancia y el factor de calidad disminuyeron al aumentar el grosor de la capa amortiguadora, tanto para el modo de oscilación libre como para el modo de barrido en contacto.
Este artículo fue realizado por Michael Fahrbach (Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Germany; Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Braunschweig, Germany), Min Xu (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Germany), Wilson Ombati Nyang’au (Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Germany; Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Braunschweig, Germany; Kenya Bureau of Standards (KEBS), Nairobi, Kenya), Oleg Domanov (GETec Microscopy GmbH, Vienna, Austria), Christian H. Schwalb (GETec Microscopy GmbH, Vienna, Austria; Quantum Design Microscopy GmbH, Darmstadt, Germany), Zhi Li, Christian Kuhlmann (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Germany), Uwe Brand (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Germany), Erwin Peiner (Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Germany; Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Braunschweig, Germany) para Sensors (Vol 23, núm 4, p. 2002, 2023), una revista que divulga artículo relacionados con la ciencia y la tecnología de los sensores. Esta es una publicación de MDPI, una plataforma de revistas científicas de acceso abierto operada por MDPI Verein (Basilea, Suiza). Correo de contacto: [email protected]