Metrological Aspects of Assessing Surface Topography and Machining Accuracy in Diagnostics of Grinding Processes
Aspectos metrológicos de la evaluación de la topografía superficial y la precisión del mecanizado en el diagnóstico de los procesos de rectificación.
En este artículo se presentan los aspectos probabilísticos del diagnóstico de los procesos de rectificación teniendo en cuenta los parámetros metrológicos de la evaluación de la topografía de las superficies mecanizadas y los problemas de la evaluación de la precisión de las mismas. Sobre la base de los análisis de una serie de procesos, los autores formularon una metodología para aplicar a una evaluación exhaustiva de la precisión del proceso y prever los resultados. Además, se tuvo en cuenta que en la estimación de precisión rectificada es necesario determinar desviaciones que surgen de las condiciones de interacción de los efectos de distintas causas de inexactitud.
Este artículo fue realizado por Wojciech Kacalak, Dariusz Lipiński, Filip Szafraniec (Koszalin University of Technology, Koszalin, Poland), Michał Wieczorowski, Paweł Twardowski (Poznan University of Technology, Poznań, Poland) para Materials (Vol 16, núm 6, p. 2195, 2023), una revista que divulga artículos relacionados con la estructura, las propiedades y las funciones de todo tipo de materiales. Esta es una publicación de MDPI, una plataforma de revistas científicas de acceso abierto operada por MDPI Verein (Basilea, Suiza). Correo de contacto: [email protected]
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Idioma:inglés
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Defocus Effect Correction for Back Focal Plane Ellipsometry for Antivibration Measurement of Thin Films
Corrección del efecto de desenfoque en la elipsometría de plano focal posterior para la medición antivibratoria de películas finas.
La metrología en línea utilizada para la fabricación de películas, la vibración de la película causada por el movimiento del equipo o las perturbaciones ambientales ocasiona desenfoque y distorsión de las imágenes BFP recibidas. En este artículo se propone un método de bajo coste para corregir los errores espectrales elipsométricos del BFP inducidos por las vibraciones, basado en una calibración inicial el ángulo incidente de los radios en diferentes posiciones de desenfoque, los errores son corregidos insertando una matriz de compensación de Jones calibrada en un modelo del sistema. Los resultados experimentales mostraron que este método mejora significativamente la precisión de la medición sin compensación del desenfoque de vibración.
Este artículo fue realizado por Jian Wang, Jun Yang, Lihua Peng (Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, China), Dawei Tang, Feng Gao (University of Huddersfield, Huddersfield, UK), Rong Chen, Liping Zhou (Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, China) para Applied Sciences (Vol. 13, núm 3, p. 1738, 2023), una revista que divulga trabajos de investigación sobre las ciencias naturales aplicadas. Esta es una publicación de MDPI, una plataforma de revistas científicas de acceso abierto operada por MDPI Verein (Basilea, Suiza). Correo de contacto: [email protected]
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Idioma:inglés
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