Temperature Measurement Performance of Silicon Piezoresistive MEMS Pressure Sensors for Industrial Applications
Desempeño de medición de temperatura de sensores de presión MEMS piezorresistivos para aplicaciones industriales
Los sensores de presión piezorresistivos microelectronicomecánicos de silicio son los primeros y más exitosos sensores MEMS, los cuales ofrecen alta sensibilidad, confiabilidad en estado sólido y dimensiones pequeñas a bajo costo cuando se producen en masa. En este artículo se brinda una caracterización de estos dispositivos para medición de temperatura, se propone un método de corrección de sensores y se demuestra que se puede lograr un error de medida tan bajo como ± 0,3 °C.
Este documento fue preparado por Miloš Frantlović, Ivana Jokić, Žarko Lazić, Branko Vukelić, Marko Obradov, Dana Vasiljević-Radović y Srđan Stanković (University of Belgrade, Belgrado, Serbia) para Facta Universitatis. Series Electronics and Energetics (vol. 28, núm. 1, 2015, 123-131), publicación de University of Niš (Niš, Serbia) que cubre diversos temas en electrónica y energía. Correo de contacto: [email protected].
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Analysis of Selection Criteria for Vacuum Gauges and Its Accuracy
Análisis de criterios de selección para manómetros de vacío y su exactitud
Este documento se enfoca en el análisis de criterios de selección para manómetros de vacío y su exactitud. Se brinda un estudio de diferentes tipos de estos dispositivos con el fin de entender sus principios operativos, así como sus principales ventajas y desventajas. Se comparan la exactitud y la repetibilidad de varios manómetros de vacío. Se proporciona un experimento específico como ejemplo de un problema de exactitud de manómetros de vacío.
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