Design and Application of a High Sensitivity Piezoresistive Pressure Sensor for Low Pressure Conditions
Diseño y aplicación de un sensor de presión piezorresistivo de alta sensibilidad para condiciones de baja presión
Es este investigación se propone un sensor de presión para detección de presiones bajas (0,5 a 40 kPA). En una de sus estructuras, se grabó parcialmente la membrana de silicio para formar un haz cruzado en su parte superior para la concentración de tensiones. También se depositó una capa de aluminio como parte del haz. Se fabricaron cuatro piezorresistores. Dos de ellos están localizados en los extremos del haz, y los otros dos en la periferia de la membrana.
Este documento fue elaborado por Huiyang Yu y Jianqiu Huang para Sensors (vol. 15, núm. 9, 2015, 22692-22704), publicación internacional e interdisciplinaria vinculada a MDPI, plataforma de revistas científicas de acceso abierto operada por MDPI Verein (Basilea, Suiza). Correo de contacto: [email protected].
Recursos
-
Formatopdf
-
Idioma:inglés
-
Tamaño:1734 kb